
一、 设备概述:
本机床专为单晶硅切断用机床,既能切断,又能切检测片;机床床身、带轮座、送料、进给拖板均为铸件,刚度好,抗震性好;机床工作台进给采用直线导轨+滚珠丝杠+伺服电机,精确可靠;优质金刚石锯带确保高效率,小锯缝,高成品率;锯带采用油缸自动张紧,张力可调,压力触摸屏显示;锯带电机采用电机变频,无极调速;电气系统采用进口施耐德CPU。
二、 工艺流程:
同一规格,每一次装夹,机床自动进给切割完成。
三、设备技术参数:
5.1 设备输入参数:
(1) 切断零件名称:单晶硅棒料;
(2) 切断前状态:含单晶硅头尾等;
(3) 加工范围:机床最大切断直径:Φ300mm;
机床最大切断长度:670mm
(4) 连续工作时间:24小时;
(5) 上、下料方式:手动;
(6) 导轨丝杠润滑方式:自动润滑;
(7) 带锯电机7.5Kw,1440转/分,带速10~25m/s;
(8) 快进速度300mm/min,进给速度0~20mm/min;
(9) 带锯张紧:100Kg~1500Kg,油缸张紧;
(10) 带锯规格:长度4900mm,宽38mm,刃口厚度0.7mm;
(11) 机床重量:约7000kg。
5.2加工精度:(硅棒尺寸6寸)
切断后截面平面度:0.2mm
截面粗糙度:Ra2.0µm
5.3生产能力: 10分钟/次(硅棒尺寸6寸)
四、 设备使用条件:
(1) 电源:380V±5%,频率50Hz±10%,三相五线制;
(2) 机床总功率:15Kw;
(3) 水源:Φ8自来水进水,水压0.25~0.3 Mpa;
(4) 最大用水量:6L/min;
(5) 气源:有(Φ12);
(6) 基础要求:水泥地坪≥400mm;
(7) 设备外形尺寸(长×宽×高):5280X1600X2400mm;
(8) 环境温度:20°C~30°C;
(9) 相对湿度: 小于75%;
(10) 排液管路:G1+1/2"出水;
(11) 噪声:小于75dB;
五、 设备主要零部件及元器件品牌表:
序号 |
项目 |
型号 |
公司 |
备注 |
1 |
CPU |
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施耐德 |
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2 |
触摸屏/伺服电机 |
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施耐德 |
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3 |
轴承 |
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哈瓦洛 |
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4 |
锯带 |
L4900×38×0.7 |
三河金贝 |
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5 |
带锯电机 |
Y132L1-4-B3 |
皖南 |
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6 |
接近开关 |
DW-DD-615-M12 |
科瑞 |
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7 |
接近开关 |
DW-DD-616-M12 |
科瑞 |
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8 |
接触器 |
CJX1-9/22 |
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9 |
空气开关 |
M611 |
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10 |
悬臂系统 |
HS-48 |
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